產品展示
SWS320-全自動晶圓檢查機/分選機/倒片機
8”-12”晶圓適用 可處理薄晶圓 可選晶圓料籃、料盒等方式裝卸料 晶圓分選功能 晶圓倒片功能 視覺檢查功能 顯微鏡檢查功能 平臺模塊化設計 工控機+Windows系統(tǒng) SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力 |
8”-12”晶圓適用 可處理薄晶圓 可選晶圓料籃、料盒等方式裝卸料 晶圓分選功能 晶圓倒片功能 視覺檢查功能 顯微鏡檢查功能 平臺模塊化設計 工控機+Windows系統(tǒng) SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力 |