技術(shù)支持
晶圓搬運(yùn)傳輸系統(tǒng)
1. 晶圓搬運(yùn)機(jī)械手
2. 晶圓預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)
3. 晶圓裝卸料塢（Loadport）
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