技術(shù)支持
-
晶圓搬運(yùn)傳輸系統(tǒng)2016-03-171. 晶圓搬運(yùn)機(jī)械手2. 晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)3. 晶圓裝卸料塢（Loadport）.....閱讀全文
-
晶圓切割及分離處理2016-03-171. 晶圓切割貼膜機(jī)2. 晶圓裂擴(kuò)片倒膜一體機(jī).....閱讀全文
-
晶圓薄化及保護(hù)處理2016-03-171. 晶圓臨時(shí)鍵合解鍵合機(jī)2. 晶圓減薄貼撕膜機(jī)3. 晶圓減薄拋光一體機(jī)?4. 晶圓光刻貼膜機(jī)5. 晶圓級(jí)覆膜機(jī)6. 晶圓保護(hù)貼膜機(jī).....閱讀全文
-
晶圓外觀(guān)及身份處理2016-03-171. 晶圓表面檢查機(jī)2. 晶圓分選機(jī)3. 晶圓倒片裝拆包機(jī).....閱讀全文
